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Applied surface science, 2021-01, Vol.536, p.147788, Article 147788
2021
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Journal of micromechanics and microengineering, 2021-08, Vol.31 (8), p.85003
2021
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Materials science in semiconductor processing, 2023-11, Vol.167, p.107793, Article 107793
2023
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International journal of modern physics. B, Condensed matter physics, statistical physics, applied physics, 2005-01, Vol.19 (1n03), p.217-219
2005
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