Sortiert nach
Surface & coatings technology, 2005-08, Vol.198 (1), p.314-318
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of microelectromechanical systems, 2007-10, Vol.16 (5), p.1120-1129
2007
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2006-05, Vol.16 (5), p.958-964
2006
Volltextzugriff (PDF)
Microsystem technologies, 2008-07, Vol.14 (7), p.1015-1019
2008
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2005-03, Vol.15 (3), p.494-500
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1506-1513
2006
Volltextzugriff (PDF)
Thin solid films, 2008-06, Vol.516 (16), p.5181-5188
2008
Volltextzugriff (PDF)
Microsystem technologies, 2006-09, Vol.12 (10-11), p.935-939
2006
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2006-04, Vol.16 (4), p.869-874
2006
Volltextzugriff (PDF)
Surface & coatings technology, 2005-03, Vol.192 (1), p.43-47
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2001-01, Vol.11 (1), p.27-32
2001
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2006-07, Vol.16 (7), p.1242-1250
2006
Volltextzugriff (PDF)
IEEE sensors journal, 2006-12, Vol.6 (6), p.1676-1682
2006
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2002-11, Vol.12 (6), p.878-897
2002
Volltextzugriff (PDF)
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2007-01, Vol.13 (1), p.11-19
2007
Volltextzugriff (PDF)
Applied surface science, 2005-05, Vol.245 (1), p.304-309
2005
Volltextzugriff (PDF)
IEEE photonics technology letters, 2004-10, Vol.16 (10), p.2293-2295
2004
Volltextzugriff (PDF)
Microsystem technologies, 2006-09, Vol.12 (10-11), p.987-992
2006
Volltextzugriff (PDF)
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2008-03, Vol.14 (3), p.331-341
2008
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2003-09, Vol.13 (5), p.532-547
2003
Volltextzugriff (PDF)
Surface & coatings technology, 2005-08, Vol.198 (1), p.309-313
2005
Volltextzugriff (PDF)
CAS 2005 Proceedings. 2005 International Semiconductor Conference, 2005, 2005, Vol.1, p.35-44 vol. 1
2005
Volltextzugriff (PDF)
Journal of microelectromechanical systems, 2004-10, Vol.13 (5), p.770-778
2004
Volltextzugriff (PDF)
Journal of micromechanics and microengineering, 2002-11, Vol.12 (6), p.948-954
2002
Volltextzugriff (PDF)
Micromechanical torsional digital-to-analog converter for open-loop angular positioning applications
2004
Volltextzugriff (PDF)
Aktive Filter
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigenNur zeigen
Publikationsform
Erscheinungsjahr
n.n
n.n
Thema
- Physical Sciences
- Physics
- Science & Technology
- Technology
- Engineering
- Engineering, Electrical & Electronic
- Exact Sciences And Technology
- Nanoscience & Nanotechnology
- Science & Technology - Other Topics
- Applied Sciences
- Instruments & Instrumentation
- Mechanical Instruments, Equipment And Techniques
- Micromechanical Devices And Systems
- Electronics
- Mechanical Engineering. Machine Design
- Precision Engineering, Watch Making
- Materials Science
- Microelectronic Fabrication
- Semiconductor Electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid State Devices
Kollektion
Zeitschrift / Serie
- Journal Of Micromechanics And Microengineering
- Microsystem Technologies : Sensors, Actuators, Systems Integration
- Journal Of Microelectromechanical Systems
- Microsystem Technologies
- Surface & Coatings Technology
- Applied Surface Science
- Ieee Photonics Technology Letters
- Ieee Sensors Journal
- Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
- Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena