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IEEE transactions on electron devices, 1998-08, Vol.45 (8), p.1811-1816
1998
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-11, Vol.9 (6), p.3176-3183
1991
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-11, Vol.9 (6), p.3193-3197
1991
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