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Structural, optical and electrical properties of sputtered NiO thin films for gas detection
Applied surface science, 2017-02, Vol.395, p.208-213
2017
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Sensing characteristics of NiO thin films as NO2 gas sensor
Thin solid films, 2002-10, Vol.418 (1), p.9-15
2002
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Sputtered nanocrystalline NiO thin films for very low ethanol detection
Vacuum, 2014-09, Vol.107, p.129-131
2014
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Patterning of titanium oxide nanostructures by electron-beam lithography combined with plasma etching
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-07, Vol.25 (7), p.74006-7
2015
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Sputtered TiO2 thin films with NiO additives for hydrogen detection
Applied surface science, 2013-03, Vol.269, p.110-115
2013
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Treatment of TiO2 surface for deposition of gold nanoparticles from colloidal suspension
Journal of micromechanics and microengineering, 2015-07, Vol.25 (7)
2015
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Double layer films based on TiO2 and NiOx for gas detection
Applied surface science, 2014-09, Vol.312, p.120-125
2014
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Patterning of titanium oxide surfaces using inductively coupled plasma for gas sensing
Applied surface science, 2014-09, Vol.312, p.107-111
2014
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Structural characterization of sputtered indium oxide films deposited at room temperature
Thin solid films, 2010-06, Vol.518 (16), p.4508-4511
2010
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NiO-based nanostructured thin films with Pt surface modification for gas detection
Thin solid films, 2006-10, Vol.515 (2), p.658-661
2006
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Structural and morphological evaluation of layered WS2 thin films
Vacuum, 2020-09, Vol.179, p.109570, Article 109570
2020
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Layered WS2 thin films prepared by sulfurization of sputtered W films
Applied surface science, 2021-04, Vol.544, p.148719, Article 148719
2021
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Effect of deposition temperature on the properties of amorphous silicon carbide thin films
Thin solid films, 2006-10, Vol.515 (2), p.651-653
2006
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Gallium arsenide suspended microheater for MEMS sensor arrays
Microsystem technologies, 2008-04, Vol.14 (4-5), p.629-635
2008
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  • BibTeX
The influence of process parameters and annealing temperature on the physical properties of sputtered NiO thin films
Vacuum, 2002-12, Vol.69 (1), p.237-242
2002
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  • BibTeX
Investigation of NiOx-based contacts on p-GaN
Journal of materials science. Materials in electronics, 2008, Vol.19 (8-9), p.855-862
2008
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  • BibTeX
Structural and optical properties of WS2 prepared using sulfurization of different thick sputtered tungsten films
Applied surface science, 2018-12, Vol.461, p.133-138
2018
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Characterization of NiO thin films deposited by reactive sputtering
Vacuum, 1998-05, Vol.50 (1), p.41-44
1998
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Dry etching characteristics of TiO2 thin films using inductively coupled plasma for gas sensing
Vacuum, 2014-09, Vol.107, p.20-22
2014
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  • BibTeX
Effects of post-deposition surface treatment on the optical, structural and hydrogen sensing properties of TiO2 thin films
Thin solid films, 2009-12, Vol.518 (4), p.1103-1108
2009
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Study of Niobium Nitride Films Produced by DC Reactive Magnetron Sputtering
Physica status solidi. A, Applied research, 1997-05, Vol.161 (1), p.97-104
1997
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Thermal stability of NbN films deposited on GaAs substrates
Vacuum, 1998-05, Vol.50 (1), p.45-48
1998
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  • BibTeX
Preparation and characterization of NiO thin films for gas sensor applications
Vacuum, 2000-08, Vol.58 (2), p.300-307
2000
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Processes on the target, discharge and NbN film behaviour in reactive dc magnetron deposition
Vacuum, 1995-12, Vol.46 (12), p.1407-1412
1995
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Electrical characterization of 4H–SiC Schottky diodes with a RuO2 and a RuWOx Schottky contacts
Journal of materials science. Materials in electronics, 2008, Vol.19 (8-9), p.783-787
2008
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