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Journal of physics. Conference series, 2014, Vol.524 (1), p.12135-10
2014
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Journal of physics. Conference series, 2014, Vol.524 (1), p.12152-10, Article 012152
2014
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Low Pressure CVD of Silicon Nitride
Journal of the Electrochemical Society, 1987-07, Vol.134 (7), p.1777-1785
1987
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Journal of physics. A, Mathematical and general, 2004-06, Vol.37 (24), p.6409-6411
2004
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Journal of physical chemistry (1952), 1987-10, Vol.91 (22), p.5726-5732
1987
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Acta chemica Scandinavica (Copenhagen. 1989), 1979, Vol.33b, p.192-196
1979
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