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Communications for statistical applications and methods, 2022-03, Vol.29 (2), p.151-160
2022
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Japanese Journal of Applied Physics, 2010-05, Vol.49 (5), p.05FA11-05FA11-4
2010
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-01, Vol.26 (1), p.189-194
2008
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Bulletin of the Korean Chemical Society, 1989-12, Vol.10 (6), p.521-524
1989
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