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A micro resonant electrometer with 9-electron charge resolution in room temperature
2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018, p.67-70
2018
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A mode-localized accelerometer based on four degree-of-freedom weakly coupled resonators
2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018, p.960-963
2018
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A Mode-localized Tilt Sensor with Resolution of 2.4e-5 Degrees within the Range of 50 Degrees
2020 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2020, p.1-4
2020
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