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Materials science in semiconductor processing, 2004-01, Vol.7 (4-6), p.227-230
2004
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Journal of the Electrochemical Society, 2011, Vol.158 (5), p.G119
2011
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Thin solid films, 2012-08, Vol.520 (21), p.6535-6540
2012
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ALD grown NbTaOx based MIM capacitors
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2447-2451
2011
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Thin solid films, 2011-06, Vol.519 (17), p.5796-5799
2011
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2012, Vol.41 (1)
2012
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2012, Vol.41 (1)
2012
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