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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2014-07, Vol.20 (7), p.1213-1247
2014
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2020-08, Vol.26 (8), p.2479-2486
2020
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SILICON, 2022-07, Vol.14 (11), p.5975-5982
2022
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2014-07, Vol.20 (7), p.1273-1280
2014
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-09, Vol.21 (9), p.1949-1958
2015
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2017-06, Vol.23 (6), p.1751-1759
2017
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2017-12, Vol.23 (12), p.5947-5958
2017
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2016-04, Vol.22 (4), p.709-719
2016
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Vacuum, 2018-07, Vol.153, p.211-216
2018
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2018-12, Vol.24 (12), p.4933-4944
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2016-01, Vol.22 (1), p.83-91
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Materials today : proceedings, 2020, Vol.30, p.88-92
2020
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-10, Vol.21 (10), p.2241-2258
2015
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-10, Vol.21 (10), p.2221-2232
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Materials chemistry and physics, 2012-08, Vol.135 (2-3), p.268-276
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Vacuum, 1991, Vol.42 (18), p.1219-1228
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-11, Vol.10 (6), p.2419-2421
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Vacuum, 1991, Vol.42 (13), p.837-843
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Journal of alloys and compounds, 2021-09, Vol.876, p.159908, Article 159908
2021
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Journal of magnetism and magnetic materials, 2022-01, Vol.541, p.1, Article 168466
2022
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Journal of magnetism and magnetic materials, 2019-03, Vol.474, p.585-590
2019
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