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Materials chemistry and physics, 1995-07, Vol.41 (2), p.128-133
1995
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2007-01, Vol.6 (1), p.10501
2007
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2005-10, Vol.4 (4), p.43003
2005
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-01, Vol.3 (1), p.61
2004
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