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Cross-sectional transmission electron microscope study of residual defects in BF2+-implanted (001)Si
1986
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Journal of materials research, 1992-08, Vol.7 (8), p.2003-2016
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IEEE transactions on electron devices, 1989-06, Vol.36 (6), p.1223-1225
1989
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Applied physics letters, 1988-12, Vol.53 (26), p.2644-2646
1988
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