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A Simulation Study on the Effect of Cross-Linking Agent Concentration for Defect Tolerant Demolding in UV Nanoimprint Lithography
Langmuir, 2012-08, Vol.28 (31), p.11546-11554
2012
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Polymerization shrinkage stress measurement for a UV-curable resist in nanoimprint lithography
Journal of micromechanics and microengineering, 2011-11, Vol.21 (11), p.115013
2011
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Propulsion of droplets on micro- and sub-micron ratchet surfaces in the Leidenfrost temperature regime
Microfluidics and nanofluidics, 2011-05, Vol.10 (5), p.1045-1054
2011
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A Novel Approach to Produce Protein Nanopatterns by Combining Nanoimprint Lithography and Molecular Self-Assembly
Nano letters, 2004-10, Vol.4 (10), p.1909-1914
2004
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Soft UV-nanoimprint lithography on non-planar surfaces
Microelectronic engineering, 2011-11, Vol.88 (11), p.3287-3292
2011
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Study on demolding temperature in thermal imprint lithography via finite element analysis
Microsystem technologies, 2008-10, Vol.14 (9-11), p.1593-1597
2008
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Surface adhesion and demolding force dependence on resist composition in ultraviolet nanoimprint lithography
Applied surface science, 2011-11, Vol.258 (3), p.1272-1278
2011
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Nanostructuring of anti-adhesive layers by hot embossing lithography
Microelectronic engineering, 2003-06, Vol.67, p.252-258
2003
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Tuning Schottky barrier heights by organic modification of metal-semiconductor contacts
Vacuum, 2002-09, Vol.67 (1), p.101-113
2002
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Demolding temperature in thermal nanoimprint lithography
Applied physics. A, Materials science & processing, 2009-11, Vol.97 (2), p.395-402
2009
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3D molding of hierarchical micro- and nanostructures
Journal of micromechanics and microengineering, 2011-03, Vol.21 (3), p.035016
2011
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Deformation behavior in 3D molding: experimental and simulation studies
Journal of micromechanics and microengineering, 2012-11, Vol.22 (11), p.115027-11
2012
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A microfluidic platform with a free-standing perforated polymer membrane
Journal of micromechanics and microengineering, 2010-08, Vol.20 (8), p.085011-085011
2010
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Passive micro-assembly of modular, hot embossed, polymer microfluidic devices using exact constraint design
Journal of micromechanics and microengineering, 2009-12, Vol.19 (12), p.125025-125025 (11)
2009
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Direct microscale imprinting of Al at room temperature with Si inserts
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2008-06, Vol.14 (6), p.815-819
2008
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Hybrid bendable stamp copies for molding fabricated by nanoimprint lithography
Microelectronic engineering, 2005-03, Vol.78, p.605-611
2005
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Interaction of metals with an organic semiconductor: Ag and In on PTCDA
Applied surface science, 2002-05, Vol.190 (1), p.376-381
2002
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Molecular beam epitaxy of GaSb layers on GaAs (0 0 1) substrates by using three-step ZnTe buffer layers
Journal of crystal growth, 2007-07, Vol.305 (1), p.40-44
2007
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