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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018-01, Vol.17 (1), p.1
2018
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Sensors and actuators. A. Physical., 2014-12, Vol.220, p.243-248
2014
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Computers & industrial engineering, 2023-03, Vol.177, p.109076, Article 109076
2023
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Sensors and actuators. A. Physical., 2015-10, Vol.234, p.188-194
2015
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Materials science in semiconductor processing, 2025-01, Vol.185, p.109007, Article 109007
2025
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Proceedings of the 8th International Conference on Informatics, Environment, Energy and Applications, 2019, p.88-93
2019
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2014 27th IEEE International System-on-Chip Conference (SOCC), 2014, p.286-291
2014
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