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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of physics. Conference series, 2020-04, Vol.1492 (1), p.12014
2020
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Journal of physics. Conference series, 2020-04, Vol.1492 (1), p.12015
2020
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Journal of materials processing technology, 2010-06, Vol.210 (8), p.1089-1094
2010
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Journal of physics. Conference series, 2020-04, Vol.1492 (1), p.12012
2020
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Journal of materials processing technology, 2007-04, Vol.184 (1), p.305-311
2007
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Microelectronic engineering, 2005-03, Vol.78, p.533-539
2005
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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.349-353
2001
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Microelectronic engineering, 2001-09, Vol.57, p.335-342
2001
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-01, Vol.27 (1), p.52-57
2009
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