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Semiconductor science and technology, 2020-09, Vol.35 (9), p.95038
2020
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Journal of electronic materials, 2012-09, Vol.41 (9), p.2350-2361
2012
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Materials science in semiconductor processing, 2021-10, Vol.133, p.105936, Article 105936
2021
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Industrial & engineering chemistry research, 2021-08, Vol.60 (31), p.11824-11833
2021
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Industrial & engineering chemistry research, 2023-10, Vol.62 (40), p.16291-16301
2023
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