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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2021, 8(2), , pp.509-518
2021
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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2019, 6(5), , pp.919-930
2019
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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2019, 6(3), , pp.667-667
2019
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-05, Vol.22 (3), p.1345-1348
2004
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International journal of precision engineering and manufacturing, 2014-04, Vol.15 (4), p.761-768
2014
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International journal of precision engineering and manufacturing, 2013-11, Vol.14 (11), p.2033-2041
2013
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IEEE/CPMT/SEMI. 28th International Electronics Manufacturing Technology Symposium (Cat. No.03CH37479), 2003, p.223-224
2003
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IEEE/CPMT/SEMI. 28th International Electronics Manufacturing Technology Symposium (Cat. No.03CH37479), 2003, p.225-226
2003
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Science China Technological Sciences, 2011-07, Vol.54 (7), p.1668-1673
2011
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IEEE transactions on industrial electronics (1982), 2013-11, Vol.60 (11), p.5167-5176
2013
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IEEE transactions on power electronics, 2014-09, Vol.29 (9), p.4752-4762
2014
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Korean Journal of Chemical Engineering, 2023, 40(8), 281, pp.1954-1962
2023
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IEEE journal of solid-state circuits, 2019-09, Vol.54 (9), p.2532-2542
2019
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