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2016
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JOM (1989), 2013-04, Vol.65 (4), p.550-556
2013
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-05, Vol.26 (3), p.978-982
2008
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2016-01, Vol.34 (1)
2016
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2015-01, Vol.33 (1)
2015
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IEEE transactions on electron devices, 2018-06, Vol.65 (6), p.2385-2392
2018
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ECS transactions, 2016, Vol.75 (6), p.77-83
2016
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.818-822
2006
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MRS proceedings, 1994, Vol.336, Article 19
1994
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MRS proceedings, 1994, Vol.345, Article 47
1994
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MRS proceedings, 1996, Vol.420, Article 399
1996
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-01, Vol.15 (1), p.127-132
1997
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