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Microelectronic engineering, 2019-02, Vol.207, p.50-54
2019
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Microelectronic engineering, 2014-02, Vol.114, p.91-97
2014
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2014-03, Vol.32 (2)
2014
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2010 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), 2010, p.34-37
2010
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-11, Vol.27 (6), p.2487-2489
2009
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2013 13th IEEE International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO 2013), 2013, p.384-388
2013
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2006 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference, 2006, Vol.1, p.408-409
2006
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Journal of micromechanics and microengineering, 2022-06, Vol.32 (6), p.65005
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Microelectronic engineering, 2021-07, Vol.247, p.111598, Article 111598
2021
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Journal of micromechanics and microengineering, 2019-11, Vol.29 (11), p.115010
2019
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Journal of micromechanics and microengineering, 2017-10, Vol.27 (10), p.105019
2017
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Journal of micromechanics and microengineering, 2023-03, Vol.33 (3), p.35002
2023
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Journal of micromechanics and microengineering, 2020-09, Vol.30 (9), p.95006
2020
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2007 Digest of papers Microprocesses and Nanotechnology, 2007, p.368-369
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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021, p.1031-1033
2021
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