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Properties of atomic-vapor and atomic-layer deposited Sr, Ti, and Nb doped Ta2O5 Metal–Insulator–Metal capacitors
Thin solid films, 2012-05, Vol.520 (14), p.4576-4579
2012
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Structure and thermal stability of graded Ta-TaN diffusion barriers between Cu and SiO2
Thin solid films, 2003-08, Vol.437 (1-2), p.248-256
2003
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Metal-organic chemical vapor deposition of high-k dielectric Ce–Al–O layers from various metal-organic precursors for metal–insulator–metal capacitor applications
Thin solid films, 2013-06, Vol.536, p.68-73
2013
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Textured strontium titanate layers on platinum by atomic layer deposition
Thin solid films, 2012-08, Vol.520 (21), p.6535-6540
2012
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ALD grown NbTaOx based MIM capacitors
Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2447-2451
2011
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Atomic Vapor Depositions of Ti–Ta–O thin films for Metal–Insulator–Metal applications
Thin solid films, 2011-03, Vol.519 (11), p.3831-3834
2011
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High performance metal-insulator-metal capacitors with atomic vapor deposited Hf02 dielectrics
Thin solid films, 2010, Vol.518 (15), p.4380-4384
2010
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Enhanced leakage current behavior of Sr2Ta2O7-x/SrTiO3 bilayer dielectrics for metal-insulator-metal capacitors
Thin solid films, 2011-06, Vol.519 (17), p.5734-5739
2011
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  • BibTeX
Single SrTiO3 and Al2O3/SrTiO3/Al2O3 based MIM capacitors: Impact of the bottom electrode material
Microelectronic engineering, 2011-07, Vol.88 (7), p.1521-1524
2011
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Heteroepitaxial praseodymium sesquioxide films on Si(1 1 1): A new model catalyst system for praseodymium oxide based catalysts
Surface science, 2007-03, Vol.601 (6), p.1473-1480
2007
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Metal–insulator–metal capacitors with MOCVD grown Ce–Al–O as a dielectric
Microelectronic engineering, 2011-07, Vol.88 (7), p.1529-1532
2011
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  • BibTeX
Investigations of thermal annealing effects on electrical and structural properties of SrTaO based MIM capacitor
Microelectronic engineering, 2010, Vol.87 (12), p.2561-2564
2010
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  • BibTeX
Degradation mechanisms of Ta and Ta–Si diffusion barriers during thermal stressing
Thin solid films, 2004-06, Vol.458 (1), p.237-245
2004
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CexAl2Oz/TiN stack analysis for Metal-Insulator-Metal applications: Effect of annealing and the metal electrode deposition method
Thin solid films, 2012, Vol.520 (14), p.4518-4522
2012
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Basic investigation of Hf02 based metal-insulator-metal diodes
Thin solid films, 2011, Vol.519 (17), p.5796-5799
2011
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Physisorption of hydrogen in single-walled carbon nanotubes
Carbon (New York), 2003, Vol.41 (12), p.2377-2383
2003
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Fluidised-bed CVD synthesis of carbon nanotubes on Fe2O3/MgO
Diamond and related materials, 2003-03, Vol.12 (3-7), p.780-785
2003
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ThemaCross-Disciplinary Physics: Materials Science; Rheology
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