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Wavelet-based identification of delamination defect in CMP (Cu-low k) using nonstationary acoustic emission signal
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2003-11, Vol.16 (4), p.677-685
2003
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Online end point detection in CMP using SPRT of wavelet decomposed sensor data
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2005-08, Vol.18 (3), p.440-447
2005
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