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Surface & coatings technology, 2002-07, Vol.156 (1), p.229-236
2002
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Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology, 2004-12, Vol.114, p.118-129
2004
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AIP conference proceedings, 2011-01, Vol.1321 (1)
2011
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Plasma doping for shallow junctions
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-09, Vol.17 (5), p.2290-2293
1999
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Physical review letters, 1989-02, Vol.62 (8), p.845-848
1989
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Surface & coatings technology, 1997-09, Vol.93 (2), p.247-253
1997
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2005-08, Vol.237 (1-2), p.35-40
2005
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Profiling of ultrashallow junctions
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-01, Vol.18 (1), p.472-476
2000
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.507-509
2006
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2005-08, Vol.237 (1-2), p.53-57
2005
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Applied physics letters, 2006-08, Vol.89 (6), p.062102-062102-3
2006
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Materials chemistry and physics, 1998-07, Vol.54 (1-3), p.37-43
1998
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IEEE transactions on electron devices, 1988-12, Vol.35 (12), p.2338-2342
1988
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-03, Vol.12 (2), p.969-972
1994
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Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 1999-07, Vol.17 (4), p.1501-1509
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-01, Vol.26 (1), p.281-285
2008
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Physical review. B, Condensed matter, 1990-11, Vol.42 (13A), p.7885-7893
1990
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-07, Vol.10 (4), p.1320-1322
1992
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-03, Vol.12 (2), p.951-955
1994
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Physical review. B, Condensed matter, 1985-06, Vol.31 (11), p.7006-7011
1985
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