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Phase-shifting point diffraction interferometer

Optics letters, 1996-10, Vol.21 (19), p.1526

1996

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Tunable coherent radiation in the soft X-ray and extreme ultraviolet spectral regions

IEEE journal of quantum electronics, 1999-05, Vol.35 (5), p.709-720

1999

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Phase effects owing to multilayer coatings in a two-mirror extreme-ultraviolet Schwarzschild objective

Applied Optics, 1998-12, Vol.37 (34), p.8021

1998

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At-wavelength interferometry for extreme ultraviolet lithography

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-11, Vol.15 (6), p.2455-2461

1997

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Tunable coherent radiation in the soft X-ray and extreme ultraviolet spectral regions : Extreme Ultraviolet Lithography

IEEE journal of quantum electronics, 1999, Vol.35 (5), p.709-720

1999

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Tunable Coherent Radiation in the Soft X-ray and Extreme Ultraviolet spectral regions

IEEE journal of quantum electronics, 1999-02, Vol.35 (5)

1999

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Progress towards λ/20 extreme ultraviolet interferometry

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1995-11, Vol.13 (6), p.2923-2927