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Applied physics letters, 2012-10, Vol.101 (18)
2012
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Journal of biomechanical engineering, 1999-02, Vol.121 (1), p.2-6
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.2877-2881
2004
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2004-04, Vol.3 (2), p.339
2004
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Critical issues in 157 nm lithography
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3154-3157
1998
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2567-2573
2002
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Optical engineering, 1985-08, Vol.24 (4)
1985
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Open Access
Lithography with 157 nm lasers
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1997-11, Vol.15 (6), p.2112-2116
1997
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994, Vol.12 (6), p.3294-3299
1994
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Science (American Association for the Advancement of Science), 2001-02, Vol.291 (5508), p.1523-1527
2001
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Journal of the American Chemical Society, 2001-10, Vol.123 (39), p.9545-9554
2001
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Chemistry : a European journal, 2003-01, Vol.9 (1), p.140-169
2003
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Nature reviews. Chemistry, 2024-05, Vol.8 (5), p.319-339
2024
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