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Sensors and actuators. A. Physical., 2005-04, Vol.120 (1), p.101-109
2005
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Sensors and actuators. A. Physical., 2016-02, Vol.238, p.299-306
2016
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Journal of micromechanics and microengineering, 2015-05, Vol.25 (5), p.55016-9
2015
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2016-08, Vol.22 (8), p.2017-2025
2016
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Journal of micromechanics and microengineering, 2013-09, Vol.23 (9), p.95002-11
2013
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Applied physics. A, Materials science & processing, 2012-05, Vol.107 (2), p.339-343
2012
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Chinese physics B, 2014-02, Vol.23 (2), p.27701-1-027701-5
2014
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Procedia engineering, 2012, Vol.47, p.845-848
2012
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