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Fabrication of Antireflective Subwavelength-Grating Structures on Optical Fiber End Faces Using UV Nanoimprinting Technique
TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series C, 2012, Vol.78 (790), p.2322-2330
2012
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Key process study in nanoimprint lithography
Journal of semiconductors, 2012-10, Vol.33 (10), p.138-141
2012
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Fabrication of a Diffraction Grating on End Face of a Light Guide Plate Using Imprint Lithography
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C, 2009/11/25, Vol.75(759), pp.2853-2858
2009
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Fast patterning and dry-etch of SiNx for high resolution nanoimprint templates
Journal of semiconductors, 2009-06, Vol.30 (6), p.138-141
2009
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