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Low Damage Smoothing of Magnetic Materials using Oblique Irradiation of Gas Cluster Ion Beam
MRS proceedings, 2004, Vol.843, Article T5.5
2004
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Molecular Dynamics Simulations of Cluster Ion Impact on Diamond Surface
MRS proceedings, 2000, Vol.650, Article R3.40
2000
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Molecular Dynamics Simulations of Cluster-size Effect on Sputtering Process with Reactive Gas Cluster Ions
MRS proceedings, 2005, Vol.908, Article 0908-OO05-07
2005
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Ar Cluster Ion Bombardment Effects on Semiconductor Surfaces
MRS proceedings, 2000, Vol.647, Article O9.4
2000
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MOLECULAR DYNAMICS STUDY OF SUFACE STRUCTURE AND SPUTTERING PROCESS BY SEQUENCIAL FLUORINE CLUSTER IMPACTS
MRS proceedings, 2004, Vol.843, Article T5.7
2004
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Sputtering yield measurements with size-selected gas cluster ion beams
MRS proceedings, 2009, Vol.1181 (1), p.150-155, Article 1181-DD13-25
2009
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Ultra Shallow Junction Formation by Cluster Ion Implantation
MRS proceedings, 1998, Vol.532, Article 17
1998
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Molecular Dynamics Study Of Surface Morphological Evolution By Cluster Impacts
MRS proceedings, 2003, Vol.792, Article R4.7
2003
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Experimental Study of Cluster Size Effect with Size-selected Cluster Ion Beam System
MRS proceedings, 2003, Vol.792, Article R10.8
2003
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Characterization of Damage Induced by Cluster Ion Implantation
MRS proceedings, 2001, Vol.669, Article J4.5
2001
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Study of Surface Morphological Evolution by Cluster Ion Irradiation on Solid Targets
MRS proceedings, 2002, Vol.749, Article W17.9
2002
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Fast Neutral Ar Penetration during Gas Cluster Ion Beam Irradiation into Magnetic Thin Films
MRS proceedings, 2003, Vol.792, Article R9.36
2003
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Threshold Energy for Generating Damage with Cluster Ion Irradiation
MRS proceedings, 2002, Vol.749, Article W17.13
2002
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Photoluminescence study of defects induced by B 10 H 14 ions
MRS proceedings, 2001, Vol.669, Article J20.4
2001
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Photoluminescence study of defects induced by B10H14 ions
MRS proceedings, 2001, Vol.669
2001
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Secondary Ion Mass Spectrometry with Gas Cluster Ion Beams
MRS proceedings, 2000, Vol.647, Article O5.5
2000
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Molecular Dynamics Simulation of Fullerene Cluster Ion Impact
MRS proceedings, 1997, Vol.504, Article 81
1997
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