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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.2840-2846
- Pfeiffer, H. C.
- Dhaliwal, R. S.
- Golladay, S. D.
- Doran, S. K.
- Gordon, M. S.
- Groves, T. R.
- Kendall, R. A.
- Lieberman, J. E.
- Petric, P. F.
- Pinckney, D. J.
- Quickle, R. J.
- Robinson, C. F.
- Rockrohr, J. D.
- Senesi, J. J.
- Stickel, W.
- Tressler, E. V.
- Tanimoto, A.
- Yamaguchi, T.
- Okamoto, K.
- Suzuki, K.
- Okino, T.
- Kawata, S.
- Morita, K.
- Suziki, S. C.
- Shimizu, H.
- Kojima, S.
- Varnell, G.
- Novak, W. T.
- Stumbo, D. P.
- Sogard, M.
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.2851-2855
1999
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-11, Vol.18 (6), p.3079-3083
2000
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1990-11, Vol.8 (6), p.1682-1685
1990
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Zeitschrift / SerieJournal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
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