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A High Accuracy Grating Alignment Technique (2nd Report): Alignment using Double-pitch Dual Gratings
Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 1989/01/05, Vol.55(1), pp.129-134
1989
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A High Accuracy Grating Alignment Technique (1st Report): Gap and Position Detection using Single and Dual Gratings
Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 1987/05/05, Vol.53(5), pp.717-723
1987
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Image Sensing Techniques by Devising Optics, Focus, and Sampling
Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 2011/12/05, Vol.77(12), pp.1104-1108
2011
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