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Dopant-selective photoenhanced wet etching of GaN
Journal of electronic materials, 1998-04, Vol.27 (4), p.282-287
1998
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Chemically assisted ion beam etching of gallium nitride
Journal of electronic materials, 1995-04, Vol.24 (4), p.229-234
1995
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Photoelectrochemical etching of GaN
MRS proceedings, 1997, Vol.468, Article 349
1997
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Dopant-selective photoenhanced wet etching of GaN : III-V nitrides and silicon carbide
Journal of electronic materials, 1998, Vol.27 (4), p.282-287
1998
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Photoluminescence of Wet- and Dry-Etched Gallium Nitride
MRS proceedings, 1997, Vol.482, Article 997
1997
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Dry and Wet Etching for Group III – Nitrides
MRS proceedings, 1998, Vol.537, Article G1.4
1998
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Chemically assisted ion beam etching of gallium nitride : III-IV nitrides and silicon carbide
Journal of electronic materials, 1995, Vol.24 (4), p.229-234
1995
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