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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-03, Vol.26 (2), p.598-605
2008
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.3246-3250
2004
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-01, Vol.25 (1), p.91-95
2007
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ThemaPhysical Sciences