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Enhancement of discharge and mechanical properties of ta-C films by pulse-enhanced cathodic arc deposition
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2023-05, Vol.41 (3)
2023
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Ion trajectories in plasma ion implantation of slender cylindrical bores using a small inner end source
Applied physics letters, 2008-11, Vol.93 (19), p.191501-191501-3
2008
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Microstructure and mechanical properties of (AlTi)xN1-x films by magnetic-field-enhanced high power impulse magnetron sputtering
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-03, Vol.35 (2)
2017
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