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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2014-07, Vol.20 (7), p.1213-1247
2014
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IEEE transactions on electron devices, 2018-11, Vol.65 (11), p.5123-5129
2018
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Journal of microelectromechanical systems, 2019-06, Vol.28 (3), p.513-520
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2020-08, Vol.26 (8), p.2479-2486
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SILICON, 2022-07, Vol.14 (11), p.5975-5982
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2014-07, Vol.20 (7), p.1273-1280
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-09, Vol.21 (9), p.1949-1958
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2017-06, Vol.23 (6), p.1751-1759
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Vacuum, 2018-07, Vol.153, p.211-216
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2018-12, Vol.24 (12), p.4933-4944
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2016-01, Vol.22 (1), p.83-91
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2014-12, Vol.20 (12), p.2303-2303
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-10, Vol.21 (10), p.2241-2258
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-10, Vol.21 (10), p.2221-2232
2015
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Sensor letters, 2016-04, Vol.14 (4), p.402-406
2016
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Materials chemistry and physics, 2012-08, Vol.135 (2-3), p.268-276
2012
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Vacuum, 1991, Vol.42 (18), p.1219-1228
1991
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