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High & Low Dose USJ Implantation into Ge-Epi on Si Wafers: Dopant Activation, Damage Recovery and Mobility Effects
2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT), 2016, p.1-4
2016
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Surface Strained Ge-Cz Wafers by Sn-Implantation for High Electron and Hole Mobility
2016 21st International Conference on Ion Implantation Technology (IIT), 2016, p.1-4
2016
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Dose monitoring of heavy ion implantation by Therma-Wave signal
Ion Implantation Technology. 2002. Proceedings of the 14th International Conference on, 2002, p.248-251
2002
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