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Nanostructured Spacers for Thermionic and Thermophotovoltaic Energy Converters
Journal of microelectromechanical systems, 2020-10, Vol.29 (5), p.637-644
2020
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Demonstration of Atmospheric-Pressure Radiometer With Nanocardboard Vanes
Journal of microelectromechanical systems, 2020-10, Vol.29 (5), p.811-817
2020
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Long-Term and Accelerated Life Testing of a Novel Single-Wafer Vacuum Encapsulation for MEMS Resonators
Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1446-1456
2006
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Temperature Dependence of Quality Factor in MEMS Resonators
Journal of microelectromechanical systems, 2008-06, Vol.17 (3), p.755-766
2008
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Integrated Multifunctional Environmental Sensors
Journal of microelectromechanical systems, 2013-06, Vol.22 (3), p.779-793
2013
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Temperature-Insensitive Composite Micromechanical Resonators
Journal of microelectromechanical systems, 2009-12, Vol.18 (6), p.1409-1419
2009
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Impact of geometry on thermoelastic dissipation in micromechanical resonant beams
Journal of microelectromechanical systems, 2006-08, Vol.15 (4), p.927-934
2006
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Rapid Silicon-to-Steel Bonding by Induction Heating for MEMS Strain Sensors
Journal of microelectromechanical systems, 2012-04, Vol.21 (2), p.497-506
2012
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Model and Observations of Dielectric Charge in Thermally Oxidized Silicon Resonators
Journal of microelectromechanical systems, 2010-02, Vol.19 (1), p.162-174
2010
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Deterministic Design of Thin-Film Heaters for Precise Spatial Temperature Control in Lab-on-Chip Systems
Journal of microelectromechanical systems, 2016-06, Vol.25 (3), p.508-516
2016
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A Method for Wafer-Scale Encapsulation of Large Lateral Deflection MEMS Devices
Journal of microelectromechanical systems, 2010-02, Vol.19 (1), p.28-37
2010
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Electrothermal properties and modeling of polysilicon microthermal actuators
Journal of microelectromechanical systems, 2003-08, Vol.12 (4), p.513-523
2003
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Temperature-Regulated Nonlinear Microvalves for Self-Adaptive MEMS Cooling
Journal of microelectromechanical systems, 2008-08, Vol.17 (4), p.998-1009
2008
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Direct Contact-Area Computation for MEMS Using Real Topographic Surface Data
Journal of microelectromechanical systems, 2007-10, Vol.16 (5), p.1263-1268
2007
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Electrostatic actuators with expanded tuning range due to biaxial intrinsic stress gradients
Journal of microelectromechanical systems, 2004-02, Vol.13 (1), p.51-62
2004
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Zeitschrift / SerieJournal Of Microelectromechanical Systems
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