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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.3813-3820
1996
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1988-01, Vol.6 (1), p.204-208
1988
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Applied physics letters, 2002-03, Vol.80 (12), p.2147-2149
2002
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Journal of applied physics, 2005-05, Vol.97 (10), p.10P701-10P701-3
2005
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- Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
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