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2009
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Journal of applied physics, 1985-01, Vol.58 (1), p.392-396
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Journal of applied physics, 1974-09, Vol.45 (9), p.4016-4024
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-03, Vol.9 (2), p.989-991
1991
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