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2005
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-03, Vol.26 (2), p.593-597
2008
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- Journal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
- Journal Of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics And Nanometer Structures
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- Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics