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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-05, Vol.23 (3), p.1337-1340
2005
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-03, Vol.26 (2), p.593-597
2008
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KollektionAIP Journals Complete
ThemaEngineering, Electrical & Electronic