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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.855-859
2006
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-03, Vol.25 (2), p.430-435
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-01, Vol.24 (1), p.113-117
2006
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-03, Vol.25 (2), p.430-435
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.855-859
2006
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Journal of applied physics, 1999-10, Vol.86 (8), p.4657-4659
1999
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