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Journal of microelectromechanical systems, 2008-04, Vol.17 (2), p.370-380
2008

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2010

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Sensors and actuators. A, Physical, 2002-04, Vol.97, p.764-770
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Microelectronic engineering, 2011-06, Vol.88 (6), p.888-901
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17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest, 2004, p.564-567
2004

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