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Micromachines (Basel), 2019-09, Vol.10 (10), p.637
2019
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Japanese Journal of Applied Physics, 2013-06, Vol.52 (6), p.06GG03-06GG03-4
2013
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Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part B, Journal of engineering manufacture, 2013-06, Vol.227 (6), p.881-889
2013
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.925-928
2009
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2007-11, Vol.7 (11), p.4077-4080
2007
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Japanese Journal of Applied Physics, 1999-09, Vol.38 (9A), p.L1003, Article L1003
1999
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2006 IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference, 2006, Vol.1, p.470-471
2006
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2012-02, Vol.12 (2), p.1713-1716
2012
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10th IEEE International Conference on Nanotechnology, 2010, p.594-597
2010
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