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Journal of microelectromechanical systems, 2009-06, Vol.18 (3), p.616-625
2009

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-01, Vol.21 (1), p.288-292
2003
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Journal of micromechanics and microengineering, 2012-10, Vol.22 (10), p.105032-9
2012
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Microelectronic engineering, 2002-09, Vol.63 (4), p.347-352
2002
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2015-01, Vol.21 (1), p.29-39
2015
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