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Japanese Journal of Applied Physics, 2016-06, Vol.55 (6S3), p.6-06JA01
2016
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Open Access
CMP legend: revolution and evolution
Japanese Journal of Applied Physics, 2022-08, Vol.61 (SJ), p.SJ0801
2022
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ECS journal of solid state science and technology, 2019, Vol.8 (5), p.P3098-P3105
2019
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Japanese Journal of Applied Physics, 2012-05, Vol.51 (5), p.05EF01-05EF01-5
2012
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 2017/03/05, Vol.83(3), pp.220-223
2017
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Japanese Journal of Applied Physics, 2011-05, Vol.50 (5), p.05EC04-05EC04-2
2011
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Proceedings of International Conference on Planarization/CMP Technology 2014, 2014, p.8-11
2014
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 2007, Vol.73(7), pp.760-763
2007
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Journal of the Vacuum Society of Japan, 2013, Vol.56(10), pp.397-398
2013
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Shinkū, 2013, Vol.56 (10), p.397-398
2013
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Shinkū, 2012, Vol.55 (9), p.424-425
2012
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Journal of the Vacuum Society of Japan, 2012, Vol.55(9), pp.424-425
2012
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ECS transactions, 2007-09, Vol.11 (6), p.285-295
2007
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Materials transactions, 2002, Vol.43 (7), p.1615-1620
2002
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Japanese Journal of Applied Physics, 2005-12, Vol.44 (12R), p.8396
2005
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STAND-BY-ME 2.0
The Proceedings of Conference of Kanto Branch, 2021, Vol.2021.27, p.10
2021
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Vacuum and Surface Science, 2020-08, Vol.63 (8), p.399-403
2020
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2020 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2020, p.1-4
2020
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Polishing
Hyōmen gijutsu, 2010-02, Vol.61 (2), p.184-185
2010
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Open Access
半導体プロセスのCMP技術
精密工学会誌, 2017/03/05, Vol.83(3), pp.220-223
2017
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MRS proceedings, 2007, Vol.991, Article 0991-C11-01
2007
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