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Structural characterization of epitaxial γ-Ta2N thin films and AlN/γ-Ta2N heterostructures on SiC substrates
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2023-07, Vol.41 (4)
2023
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Heteroepitaxial growth of β-Ga2O3 films on SiC via molecular beam epitaxy
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-12, Vol.38 (6)
2020
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XeF2 etching of epitaxial Nb2N for lift-off or micromachining of III-N materials and devices
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-09, Vol.35 (5)
2017
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Morphological and microstructural stability of N-polar InAlN thin films grown on free-standing GaN substrates by molecular beam epitaxy
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2016-03, Vol.34 (2)
2016
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ThemaEngineering
Zeitschrift / SerieJournal Of Vacuum Science & Technology. A, Vacuum, Surfaces, And Films
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