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Resonance Type Auto Bias Electrical Variable Capacitor with Improved Switch Reliability for 13.56MHz RF Plasma System
2023 11th International Conference on Power Electronics and ECCE Asia (ICPE 2023 - ECCE Asia), 2023, p.1255-1262
2023
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Pulse current generator with improved waveform fidelity for high-voltage capacitively coupled plasma systems
Journal of power electronics, 2020, Vol.20 (5), p.1316-1327
2020
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Electrical variable capacitor using symmetrical switch configuration for reducing switch voltage in RF plasma systems
Journal of power electronics, 2020, Vol.20 (6), p.1562-1572
2020
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Electrical Variable Capacitor Using Symmetrical Switch Configuration in RF Plasma System
2019 10th International Conference on Power Electronics and ECCE Asia (ICPE 2019 - ECCE Asia), 2019, p.2114-2121
2019
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Pulse Current Generator with Improved Waveform Fidelity for High Voltage Capacitively-Coupled Plasma System
2018 IEEE Energy Conversion Congress and Exposition (ECCE), 2018, p.1-5
2018
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