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2021
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1991-05, Vol.9 (3), p.1402-1405
1991
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AIAA journal, 1977-09, Vol.15 (9), p.1261-1267
1977
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1991-05, Vol.9 (3), p.1503-1510
1991
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