Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Einfacher Volltextzugriff von (fast) überall
Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...

Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2015-11, Vol.33 (6)
2015
Volltextzugriff (PDF)

Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-07, Vol.34 (4)
2016
Volltextzugriff (PDF)



Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-09, Vol.31 (5)
2013
Volltextzugriff (PDF)




Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2012-07, Vol.30 (4)
2012
Volltextzugriff (PDF)