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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-05, Vol.27 (3), p.1789-1793
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-05, Vol.27 (3), p.1741-1745
2009
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-05, Vol.27 (3), p.1735-1740
2009
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-07, Vol.17 (4), p.1594-1597
1999
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