Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-11, Vol.18 (6), p.3514-3520
2000
Link zum Volltext