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The 15th Annual Meeting of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society, 2002, Vol.2, p.418-419 vol.2
2002
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Technical Digest. IEEE International MEMS 99 Conference. Twelfth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.99CH36291), 1999, p.344-348
1999
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